Université de Franche-Comté

HARMST'07 — La technologie des microstructures à haut rapport de forme


Il existe dans les domaines de la fabrication des microsystèmes un champ particulier dit  à haut rapport de forme Ÿ qui traite d'objets ou de systèmes comportant des microstructures dont le rapport de la hauteur ou profondeur sur le côté le plus petit est supérieur à 10. Ils sont donc beaucoup plus hauts que larges et présentent des avantages certains. Les actionneurs sont plus robustes, les moteurs ont un couple plus grand, certains capteurs sont plus sensibles… Pour les produire, il est cependant nécessaire d'adapter les technologies telles que la lithographie X, la photolithographie, les techniques de moulage ou de gravure, l'usinage laser ou mécanique…

Le colloque international HARMST, qui a lieu tous les deux ans entre l'Amérique du Nord, l'Asie et l'Europe, leur est consacré, regroupant les meilleurs spécialistes mondiaux.
• Sa 7e édition se tient à Besançon. Elle est organisée par FEMTO-ST et le CTMN — centre de transfert en micro et nanotechnologies. Se réuniront des chercheurs et des industriels pour discuter sur les derniers résultats de la recherche et les défis à relever, tant scientifiques que technologiques.

 

Chantal Khan Malek
Département LPMO – Institut FEMTO-ST
Université de Franche-Comté / UTBM / ENSMM / CNRS
Tél. 03 81 85 39 35
Fax 03 81 85 39 98
chantal.khan-malek@lpmo.edu
http://harmst-007.femto-st.fr

 

 

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