La société israélienne NANOMOTION TECHNOLOGY produit des moteurs de haute précision utilisant de façon innovante la piézoélectricité. En effet, en excitant un élément piézoélectrique à très haute fréquence, une excitation transversale et longitudinale est obtenue sur l’élément, imprimant ainsi un petit mouvement elliptique à l’extrémité en céramique (fig. 4). Couplant le mouvement de cette céramique à un plan de grande précision, il est alors possible d’obtenir un banc de translation ou de rotation d’une très grande précision. Ces moteurs permettent ainsi de positionner un support jusqu’à une résolution inférieure à 100 nm à une vitesse de 250 mm par seconde et peuvent délivrer une force (en statique) de 3.5N à 28N (grâce au couplage de 8 éléments piézoélectriques). La microscopie et la robotique font partie des diverses applications de ces moteurs.
